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微机电耦合动力学
| ISBN/价格： | 978-7-118-10053-2:CNY98.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电耦合动力学/.许立忠，孙丽波著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2015.05 |
| 载体形态项： | 20,303页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
| 一般附注： | 国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书主要介绍MEMs典型构件机电耦合及机电流体耦合动力学的相关理论和应用。全书共分12章，主要包括：微机电系统及微机电系统动力学问题的发展与应用现状；静电驱动微板、微梁机电耦合动力学理论；静电驱动微板、微梁机电耦合非线性动力学理论；考虑压膜阻尼的微梁机电流体耦合动力学理论等内容。 |
| 并列题名： | Coupled dynamics of MEMs eng |
| 题名主题： | 微电子技术 机电设备 耦合 动力学 |
| 中图分类： | TM |
| 个人名称等同： | 许立忠 著 |
| 个人名称等同： | 孙丽波 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20150715 |