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直拉硅单晶生长过程建模与控制
| ISBN/价格： | 978-7-03-043346-6:CNY165.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 直拉硅单晶生长过程建模与控制/.刘丁著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2015.06 |
| 载体形态项： | 13,285页:;+图:;+25cm |
| 一般附注： | 中国科学院科学出版基金资助出版 |
| 提要文摘： | 本书系统地介绍了直拉硅晶体生长的基本原理和工艺过程以及热场、磁场等关键部件的设计理论与方法。研究了影响硅片品质的关键变量的检测问题和工程方法，提出了全自动晶体生长控制系统的基本理论和控制方法。 |
| 题名主题： | 直拉硅单晶 晶体生长 过程模拟 |
| 题名主题： | 直拉硅单晶 晶体生长 过程控制 |
| 中图分类： | TP273 |
| 中图分类： | TN304.053 |
| 个人名称等同： | 刘丁 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20150810 |