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微系统设计与制造
| ISBN/价格： | 978-7-302-39167-8:CNY98.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微系统设计与制造/.王喆垚编著 |
| 版本项： | 2版 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2015.10 |
| 载体形态项： | 742页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 信息、控制与系统技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书主要内容包括：微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。 |
| 并列题名： | Microsystem design and fabrication eng |
| 题名主题： | 微电子技术 设计 高等学校 教材 |
| 题名主题： | 微电子技术 制造 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN40 |
| 个人名称等同： | 王喆垚 编著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20151113 |