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微纳米制造技术及应用
| ISBN/价格： | 978-7-03-045751-6:CNY98.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米制造技术及应用/.张德远等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2015.10 |
| 载体形态项： | 252页:;+图:;+21cm |
| 丛编项： | 21世纪先进制造技术丛书 |
| 一般附注： | “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。 |
| 题名主题： | 纳米技术 |
| 中图分类： | TB303 |
| 个人名称等同： | 张德远 编著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20151106 |