| ISBN/价格： | 978-7-5603-5109-4:CNY48.00 |
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| 作品语种： | chi |
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| 出版国别： | CN 230000 |
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| 题名责任者项： | 微机电系统(MEMS)工艺基础与应用/.邱成军，曹姗姗，卜丹编著 |
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| 出版发行项： | 哈尔滨:,哈尔滨工业大学出版社:,2016.2 |
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| 载体形态项： | 301页:;+图:;+23cm |
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| 一般附注： | “十二五”国家重点图书 |
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| 提要文摘： | 本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念和发展现状及趋势、力学相关知识；重点阐述MEMS实现工艺，主要有刻蚀、包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀，表面微加工工艺的基本原理及其常用材料，硅片键合技术的各种方法、工艺过程及其各自的影响因素，LIGA技术的基本工艺流程和各部分工艺的实现方法；在工艺基础上介绍了传感器和执行器的基本原理、应用范围及其工艺流程；最后就MEMS在军事、医疗、汽车方面的应用及对MEMS器件实现检测的方法加以介绍。 |
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| 并列题名： | Mems technology foundation and application eng |
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| 题名主题： | 微电机 高等学校 教材 |
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| 中图分类： | TM38 |
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| 个人名称等同： | 邱成军 编著 |
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| 个人名称等同： | 曹姗姗 编著 |
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| 个人名称等同： | 卜丹 编著 |
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| 记录来源： | CN 百万庄 20160613 |
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