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半导体微系统制造技术
| ISBN/价格： | 978-7-111-50268-5:CNY32.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体微系统制造技术/.刘斌主编 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2017.01 |
| 载体形态项： | 224页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 普通高等教育“十三五”规划教材 |
| 提要文摘： | 本书在半导体微系统制造工艺的基础上主要介绍了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各向异性腐蚀、电钝化腐蚀、自停止腐蚀技术、非晶薄膜的腐蚀与表面微加工、静电键合技术等。 |
| 题名主题： | 微电子学 高等教育 教材 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 刘斌 主编 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20170518 |