| ISBN/价格： | 978-7-5024-7442-3:CNY28.00 |
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| 作品语种： | chi |
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| 出版国别： | CN 110000 |
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| 题名责任者项： | NEMS传感器的研制与应用/.谭苗苗著 |
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| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2017.1 |
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| 载体形态项： | 109页:;+图:;+24cm |
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| 相关题名附注： | 封面题英文题名：Preparation of NEMS sensor and its application |
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| 提要文摘： | 本书概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案， 并对目前国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分 析：针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构，详细阐述了两种不同的 一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法，以及器件电路结构加工工艺等；并 将硅纳米线场效应晶体管结构的传感器应用于空气生物气溶胶的在线检测；对 NEMS传感器未来的发展方向进行了展望。 |
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| 并列题名： | Preparation of NEMS sensor and its application eng |
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| 题名主题： | 机电系统 传感器 研究 |
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| 中图分类： | TM7 |
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| 个人名称等同： | 谭苗苗 著 |
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| 记录来源： | CN shxhcmtsbmb 20170314 |
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