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直拉单晶硅工艺技术
| ISBN/价格： | 978-7-122-29885-0:CNY28.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 直拉单晶硅工艺技术/.黄有志, 王丽主编 |
| 版本项： | 第2版 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2017.8 |
| 载体形态项： | 130页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 太阳能光伏产业——硅材料系列教材 |
| 提要文摘： | 本书主要内容包括：单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、直拉单晶炉生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等。 |
| 题名主题： | 半导体材料 硅 单晶拉制 生产工艺 教材 |
| 中图分类： | TN304 |
| 个人名称等同： | 黄有志 主编 |
| 个人名称等同： | 王丽 主编 |
| 记录来源： | CN 北京新华书店首都发行所有限公司 20170815 |