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晶圆制造自动化物料运输系统调度
| ISBN/价格： | 978-7-5680-4787-6:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | CN 420000 |
| 题名责任者项： | 晶圆制造自动化物料运输系统调度/.Jie Zhang ... [等] |
| 出版发行项： | 武汉:,华中科技大学出版社:,2018.12 |
| 载体形态项： | 272页:;+图:;+25cm |
| 提要文摘： | 本书针对自动化物料运输系统 (AMHS) 调度问题大规模、随机性、实时性和多目标的特点, 在系统、深入地进行AMHS建模方法和运行过程分析的基础上, 分别介绍了AMHS中的Interbay系统和Intrabay系统的优化调度方法, 介绍了AMHS集成调度和AMHS调度性能评价方法。 |
| 并列题名： | Wafer fabrication-automated material handling systems eng |
| 题名主题： | 半导体工艺 自动化系统 物料输送系统 研究 英文 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 张洁 著 |
| 个人名称等同： | 秦威 著 |
| 个人名称等同： | 吴立辉 著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20190826 |