书目信息 机读格式(MARC)
MEMS技术及应用
| ISBN/价格： | 978-7-04-050478-1:CNY69.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS技术及应用/.蒋庄德等著 |
| 出版发行项： | 北京:,高等教育出版社:,2018.11 |
| 载体形态项： | 318页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 先进制造科学与技术丛书 |
| 一般附注： | 高等学校教材 机械工程前沿著作系列 |
| 提要文摘： | 本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之以对MEMS典型应用的分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。 |
| 并列题名： | Technologies and applications of MEMS eng |
| 题名主题： | 微电机 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 蒋庄德 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20181122 |