书目信息 机读格式(MARC)
半导体制造工艺控制理论
| ISBN/价格： | 978-7-5612-5953-5:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 610000 |
| 题名责任者项： | 半导体制造工艺控制理论/.王少熙 ... [等] 著 |
| 出版发行项： | 西安:,西北工业大学出版社:,2018.4 |
| 载体形态项： | 170页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验优化设计三个方面展开, 详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型, 并结合具体半导体制造工艺提出解决方案。本书共6章, 第1章阐述半导体制造工艺控制理论概念和背景; 第2章阐述单变量工序能力指数; 第3章阐述多变量工序能力指数; 第4章阐述常规过程控制技术; 第5章阐述特殊过程控制技术; 第6章给出实验设计及工艺表征的理论及应用。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 王少熙 著 |
| 个人名称等同： | 郑然 著 |
| 个人名称等同： | 阴玥 著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20181130 |