| ISBN/价格: | 978-7-5646-3950-1:CNY28.00 |
|---|---|
| 作品语种: | chi |
| 出版国别: | CN 320000 |
| 题名责任者项: | 极限制造/.高治军,许可著 |
| 出版发行项: | 徐州:,中国矿业大学出版社有限责任公司:,2018.09 |
| 载体形态项: | 127页:;+图:;+23cm |
| 一般附注: | 学术前沿研究 |
| 提要文摘: | 本书以典型纳米器件——单壁碳纳米管场效应晶体管装配制造为范例,面向纳米器件规模化制造,针对SWCNT FET规模化制造市场需求,系统研究了基于浮动电势和介电泳原理的纳米器件装配方法,设计实现了基于浮动电势介电泳的纳米器件批量化装配技术,实验结果验证了研究方法的有效性和可行性,为纳米电子器件制造技术发展提供了有意义的理论指导和实验方法。 |
| 题名主题: | 纳米材料 电子器件 生产工艺 |
| 中图分类: | TN605 |
| 个人名称等同: | 高治军 著 |
| 个人名称等同: | 许可 著 |
| 记录来源: | CN 浙江省新华书店集团公司 20190313 |