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集成电路制造技术
| ISBN/价格： | 978-7-313-18651-5:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 310000 |
| 题名责任者项： | 集成电路制造技术/.张亚非，段力编著 |
| 出版发行项： | 上海:,上海交通大学出版社:,2018 |
| 载体形态项： | 439页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 前沿电子信息专业教材系列 |
| 提要文摘： | 本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化（光刻）、加法（薄膜的技术）、减法（刻蚀技术）、乘除法（离子注入、silicide）及其集成电路工程学（良率、可靠性）和集成电路后勤工作（超净间、IC衍生产业链）几大类，便于学生掌握、记忆和类推。 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 教材 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 张亚非 编著 |
| 个人名称等同： | 段力 编著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20190225 |
| 记录来源： | CN TSG 20200109 |