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微电子工艺技术与仿真
| ISBN/价格： | 978-7-5684-0986-5:CNY35.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 320000 |
| 题名责任者项： | 微电子工艺技术与仿真/.王强主编 |
| 出版发行项： | 镇江:,江苏大学出版社:,2018.12 |
| 载体形态项： | 166页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书共8章，从微电子工艺的物理学、晶体学、器件基础开始，根据工艺的复杂程度介绍了晶圆材料的生长与制备、氧化/扩散工艺、光刻工艺、薄膜工艺、等离子工艺、工艺整合和太阳能电池工艺。 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 王强 主编 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20190322 |