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中国电子信息工程科技发展研究,集成电路芯片制造工艺专题
| ISBN/价格： | 978-7-03-062359-1:CNY48.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 中国电子信息工程科技发展研究/.中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2019.10 |
| 载体形态项： | 72页:;+图:;+21cm |
| 提要文摘： | 本书尝试从芯片大生产制造的角度, 介绍芯片制造关键单项工艺和工艺集成技术 (与《中国电子信息工程科技发展研究: 集成电路产业专题》衔接)。试图以产业发展主流工艺为导向, 侧重原理和产业应用实际相结合, 尽量避免冗长深奥的物理、化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述, 并在介绍单项工艺后, 解释具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍芯片制造工艺中存在的五个主要挑战各可能解决途径。最后讨论芯片制造工艺产业链的依赖关系。 |
| 题名主题： | 电子信息 信息工程 科技发展 研究 中国 |
| 题名主题： | 集成芯片 制造 科技发展 研究 中国 |
| 中图分类： | G203 |
| 中图分类： | TN43 |
| 团体名称等同： | 中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 编著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20191030 |