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晶圆制造中的并行机调度
| ISBN/价格： | 978-7-302-53663-5:CNY79.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 晶圆制造中的并行机调度/.张洁，张朋著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2019.12 |
| 载体形态项： | 10,241页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 排序与调度丛书 |
| 一般附注： | “十三五”国家重点图书出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上，分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法以及原型系统开发和应用。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 自动化系统 物料输送系统 并行控制 研究 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 张洁 (女) 著 |
| 个人名称等同： | 张朋 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20191226 |