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有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法
| ISBN/价格： | 978-7-5661-1713-7:CNY35.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 230000 |
| 题名责任者项： | 有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法/.刘杨, 付雪微著 |
| 出版发行项： | 哈尔滨:,哈尔滨工程大学出版社:,2019.10 |
| 载体形态项： | 73页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 黑龙江省优秀学术著作出版资助项目 |
| 提要文摘： | 本书以尖端精密设备光刻机中的双工件台系统为研究背景, 针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题, 进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。 |
| 题名主题： | 直线电机 推力 波动力学 研究 |
| 中图分类： | TM359.4 |
| 个人名称等同： | 刘杨 著 |
| 个人名称等同： | 付雪微 著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20191227 |