书目检索

简单检索 多字段检索 组合检索 书目详细信息

用户登录

书目信息 机读格式(MARC)

《MEMS技术前沿与应用发展》

MEMS技术前沿与应用发展

ISBN/价格:978-7-118-11947-3:CNY188.00
作品语种:chi
出版国别:CN 110000
题名责任者项:MEMS技术前沿与应用发展/.尤政, 赵嘉昊编著
出版发行项:北京:,国防工业出版社:,2019.10
载体形态项:xiv, 348页, [8] 页图版:;+图 (部分彩图):;+24cm
丛编项:微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列
一般附注:“十二五”国家重点图书出版规划项目
提要文摘:本书是一部深入论述微机电系统 (MEMS) 技术发展前沿与应用的专著, 共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题, 围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开, 从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术, 并从军事航天的应用领域对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论; 第4章至第10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MEMS技术、空间MEMS技术以及极端环境应用的MEMS技术; 第11章和第12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应, 以及MEMS技术的产业化发展现状。
并列题名:Frontier and application development of MEMS technology eng
题名主题:微电机
中图分类:TM38
个人名称等同:尤政 编著
个人名称等同:赵嘉昊 编著
记录来源:CN 湖北三新 20200427
总体评分: (共0人)
我的评分:
共12人预约本书
收藏

馆藏 附件 评论 相关借阅 借阅趋势

评论共 条 ,请登录后发表评论

用户评论