书目信息 机读格式(MARC)
MEMS技术前沿与应用发展
| ISBN/价格： | 978-7-118-11947-3:CNY188.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS技术前沿与应用发展/.尤政, 赵嘉昊编著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2019.10 |
| 载体形态项： | xiv, 348页, [8] 页图版:;+图 (部分彩图):;+24cm |
| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
| 一般附注： | “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书是一部深入论述微机电系统 (MEMS) 技术发展前沿与应用的专著, 共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题, 围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开, 从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术, 并从军事航天的应用领域对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论; 第4章至第10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MEMS技术、空间MEMS技术以及极端环境应用的MEMS技术; 第11章和第12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应, 以及MEMS技术的产业化发展现状。 |
| 并列题名： | Frontier and application development of MEMS technology eng |
| 题名主题： | 微电机 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 尤政 编著 |
| 个人名称等同： | 赵嘉昊 编著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20200427 |