ISBN/价格: | 978-7-118-11947-3:CNY188.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | MEMS技术前沿与应用发展/.尤政, 赵嘉昊编著 |
出版发行项: | 北京:,国防工业出版社:,2019.10 |
载体形态项: | xiv, 348页, [8] 页图版:;+图 (部分彩图):;+24cm |
丛编项: | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
一般附注: | “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
提要文摘: | 本书是一部深入论述微机电系统 (MEMS) 技术发展前沿与应用的专著, 共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题, 围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开, 从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术, 并从军事航天的应用领域对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论; 第4章至第10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MEMS技术、空间MEMS技术以及极端环境应用的MEMS技术; 第11章和第12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应, 以及MEMS技术的产业化发展现状。 |
并列题名: | Frontier and application development of MEMS technology eng |
题名主题: | 微电机 |
中图分类: | TM38 |
个人名称等同: | 尤政 编著 |
个人名称等同: | 赵嘉昊 编著 |
记录来源: | CN 湖北三新 20200427 |