| ISBN/价格： | 978-7-111-63763-9:CNY119.00 |
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| 作品语种： | chi eng |
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| 出版国别： | CN 110000 |
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| 题名责任者项： | 压电微机电谐振器/.(美)哈梅特·布格拉(Harmeet Bhugra)，(美)詹卢卡·皮亚扎(Gianluca Piazza)主编/.吴涛，李昕欣等译 |
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| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2020.1 |
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| 载体形态项： | 11,351页:;+图:;+24cm |
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| 丛编项： | 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 |
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| 相关题名附注： | 版权页英文题名：Piezoelectric MEMS resonators |
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| 提要文摘： | 本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出两个成功案例。 |
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| 并列题名： | Piezoelectric MEMS resonators eng |
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| 题名主题： | 微电机 谐振器 研究 |
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| 中图分类： | TN62 |
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| 个人名称等同： | 布格拉 哈梅特 (Bhugra, Harmeet) 主编 |
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| 个人名称等同： | 皮亚扎 詹卢卡 (Piazza, Gianluca) 主编 |
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| 个人名称次要： | 吴涛 译 |
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| 个人名称次要： | 李昕欣 译 |
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| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20200113 |
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