| ISBN/价格： | 978-7-111-64958-8:CNY139.00 |
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| 作品语种： | chi eng |
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| 出版国别： | CN 110000 |
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| 题名责任者项： | 微机电系统（MEMS）/.(美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary)，(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编/.周海宪，程云芳，周华伟等译 |
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| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2020.5 |
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| 载体形态项： | 23,383页:;+图，照片:;+26cm |
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| 丛编项： | 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 |
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| 相关题名附注： | 版权页英文题名：MEMS: fundamental technology and applications (devices, circuits, and systems) |
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| 提要文摘： | 本书共19章，分为两大部分：第1-9章为突破性技术部分，讨论各类新型微机电系统（MENMS）器件；第10-19章属应用部分，阐述以MEMS为基础的各种新颖的应用。 |
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| 并列题名： | MEMS eng |
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| 题名主题： | 微机电系统 研究 |
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| 中图分类： | TH |
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| 个人名称等同： | 乔杜里 维卡斯 (Choudhary, Vikas) 主编 |
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| 个人名称等同： | 印纽斯基 克日什托夫 (Iniewski, Krzysztof) 主编 |
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| 个人名称次要： | 周海宪 译 |
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| 个人名称次要： | 程云芳 译 |
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| 个人名称次要： | 周华伟 译 |
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| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20200605 |
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