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集成电路与光刻机
| ISBN/价格： | 978-7-03-065792-3:CNY58.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 集成电路与光刻机/.王向朝，戴凤钊等著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2020.08 |
| 载体形态项： | 133页:;+图，照片:;+21cm |
| 提要文摘： | 本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程。重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等。简要介绍了计算光刻技术。最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。 |
| 并列题名： | Integrated circuit and lithographic tool eng |
| 题名主题： | 集成电路 |
| 题名主题： | 光刻设备 |
| 中图分类： | TN4 |
| 中图分类： | TN305.7 |
| 个人名称等同： | 王向朝 著 |
| 个人名称等同： | 戴凤钊 著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20200910 |