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微纳米加工技术及其应用
| ISBN/价格： | 978-7-04-054302-5:CNY129.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米加工技术及其应用/.崔铮著 |
| 版本项： | 4版 |
| 出版发行项： | 北京:,高等教育出版社:,2020.09 |
| 载体形态项： | 549页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 纳米科学与技术著作系列 |
| 提要文摘： | 本书强调实用，避免烦琐的数学分析，而以大量图例加以说明；既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展。在应用方面主要介绍了微纳米加工技术在超大规模集成电路加工、纳米电子学、高密度磁存储技术、光电子技术、微机电系统技术、生物芯片技术与纳米技术中的典型应用。 |
| 并列题名： | Micro-nanofabrication technologies and applications eng |
| 题名主题： | 纳米材料 新技术应用 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 崔铮 (英) 著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20210413 |