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微机电系统概论
| ISBN/价格： | 978-7-5024-8015-8:CNY31.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统概论/.邱丽芳，谢仲添主编 |
| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2020.10 |
| 载体形态项： | 195页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 普通高等教育“十三五”规划教材 |
| 提要文摘： | 本书系统介绍微机电系统的特点及应用前景、微机电系统的材料、微机电系统的加工、微机电系统的组成、微机电系统的设计及测试，重点介绍适合于微机电系统的柔顺机构的设计。 |
| 题名主题： | 微电机 高等教育 教材 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 邱丽芳 主编 |
| 个人名称等同： | 谢仲添 主编 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20210218 |