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《微细加工与微纳加工技术及应用》

微细加工与微纳加工技术及应用

ISBN/价格:978-7-122-36940-6:CNY79.00
作品语种:chi
出版国别:CN 110000
题名责任者项:微细加工与微纳加工技术及应用/.赵波,李伯民,李清等编著
出版发行项:北京:,化学工业出版社:,2021.01
载体形态项:214页:;+图:;+26cm
提要文摘:本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书介绍了微切削加工技术,微细电加工技术,激光的微纳米加工技术,面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术,纳米机械加工原理、方法与实现;还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。
并列题名:Micro machining and micro-nano machining technologies and applications eng
题名主题:特种加工 技术
中图分类:TG66
个人名称等同:赵波 编著
个人名称等同:李伯民 编著
个人名称等同:李清 编著
记录来源:CN 人天书店 20201214
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