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半导体薄膜技术与物理
| ISBN/价格： | 978-7-308-20948-9:CNY59.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 330000 |
| 题名责任者项： | 半导体薄膜技术与物理/.叶志镇[等]编著 |
| 版本项： | 3版 |
| 出版发行项： | 杭州:,浙江大学出版社:,2020.11 |
| 载体形态项： | 254页:;+图，照片:;+26cm |
| 一般附注： | “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 高等院校材料专业系列规划教材 |
| 提要文摘： | 全书共分十一章，内容包括：真空技术；蒸发技术；化学气相沉积；溅射技术；脉冲激光沉积；分子束外延；液相外延；湿化学制备方法；半导体超晶格和量子阱等。 |
| 并列题名： | Physics and technology of semiconductor thin films eng |
| 题名主题： | 半导体薄膜技术 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN304.055 |
| 个人名称等同： | 叶志镇 编著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20210624 |