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微机电器件设计、仿真及工程应用
| ISBN/价格： | 978-7-5124-3456-1:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电器件设计、仿真及工程应用/.郭占社，周富强编著 |
| 出版发行项： | 北京:,北京航空航天大学出版社:,2021.03 |
| 载体形态项： | 222页:;+图:;+24cm |
| 一般附注： | 高等学校通用教材 |
| 提要文摘： | 本书针对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上，以微机电系统中常用的核心器件为对象，结合大量工程实例，采用Ansys软件，详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法，包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等。 |
| 题名主题： | 微电子技术 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 郭占社 编著 |
| 个人名称等同： | 周富强 编著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20210618 |