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《硅基氮化镓光电探测器的多层异质外延生长研究》

硅基氮化镓光电探测器的多层异质外延生长研究

ISBN/价格:978-7-5684-1424-1:CNY38.00
作品语种:eng
出版国别:CN 320000
题名责任者项:硅基氮化镓光电探测器的多层异质外延生长研究/.郑益著
出版发行项:镇江:,江苏大学出版社:,2020.07
载体形态项:195页:;+图:;+22cm
丛编项:光电材料器件测试及控制技术系列丛书
一般附注:常州市国际合作计划项目 江苏省品牌专业二期建设项目 江苏省第16批“六大人才高峰”高层次人才培养对象 常州工学院自然科学基金资助项目资助出版
提要文摘:本书为英文图书,研究了氮化铝缓冲层对氮化镓外延层表面形貌和晶体质量的影响,讨论了氮化镓异质外延生长中镓扩散到硅衬底中并溶解形成镓—硅合金的途径,最终经过优化得以实现利用等离子辅助分子束外延在硅(111)衬底上生长出无微晶的光滑氮化镓外延层。
并列题名:Studies on plasma assisted molecular beam epitaxial growth of GaN-Based multilayer heterostructures on Si for photodetector application eng
题名主题:硅基材料 氧化镓 光电探测器 研究 英文
中图分类:TN215
个人名称等同:郑益 著
记录来源:CN 人天书店 20210309
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