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纳米加工技术与原理
| ISBN/价格： | 978-7-118-12322-7:CNY119.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 纳米加工技术与原理/.(加拿大)Maria Stepanova，(加拿大)Steven Dew编/.段辉高[等]译 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2021.07 |
| 载体形态项： | 12,318,10页:;+图，照片:;+24cm |
| 一般附注： | 装备科技译著出版基金 |
| 提要文摘： | 本书内容包括：纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能等。 |
| 并列题名： | Nanofabrication techniques and principles eng |
| 题名主题： | 纳米材料 加工 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 斯捷潘诺娃 Maria (加拿大) 编 |
| 个人名称等同： | 德夫 Steven (加拿大) 编 |
| 个人名称次要： | 段辉高 译 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20211210 |