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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用
| ISBN/价格： | 978-7-118-12284-8:CNY169.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用/.张新宇，谢长生著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2021.10 |
| 载体形态项： | 211页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 现代微纳光学光电成像探测技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书主要内容包括：折射和衍射微光学变换，准连续相位分布的衍射微光学结构，适用于毫米级近场的衍射微光学结构，可见光、红外线以及多谱光学强度图像，复杂波前基础理论；衍射微光学结构的设计与仿真，单步光刻和两步法KOH湿法蚀刻，微光学图像，波前结构的设计与工艺、测试与评估等；宽频激光对抗条件下的非相干成像探测，强度图像与复杂波前出射的基本方法；激光图像发射、静态或动态图像与波前仿真环境构建，图像隐身、基于频谱空间分离的成像探测对抗等。 |
| 题名主题： | 刻蚀 研究 |
| 中图分类： | TN405.98 |
| 个人名称等同： | 张新宇 著 |
| 个人名称等同： | 谢长生 著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20211221 |