书目信息 机读格式(MARC)
微纳加工基础技术与方法
| ISBN/价格： | 978-7-5024-8882-6:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳加工基础技术与方法/.李岩，颜文煅编著 |
| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2021.09 |
| 载体形态项： | 10,184页:;+图:;+25cm |
| 提要文摘： | 本书内容系统介绍了各种精密加工方法，将超精密微加工法和表面加工方法的基础原理和技术做了融合。全书共分为十一章，主要介绍了激光束加工方法、电子束加工方法、离子束加工方法、其他粒子束加工方法、化学刻蚀法、放电加工等基本方法；并介绍了精密加工所涉及的主要表面处理技术，包括表面处理沉淀法、离子束表面处理法、溅射法、化学气相沉积法和精密镀等。本书对传统的加工方法进行了精选，去掉了繁冗的细节，保留了必要的理论基础，并增加了微纳加工技术新工艺及其发展趋势。 |
| 题名主题： | 特种加工 技术 |
| 中图分类： | TG66 |
| 个人名称等同： | 李岩 编著 |
| 个人名称等同： | 颜文煅 编著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20220319 |