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《CMOS芯片结构与制造技术》

CMOS芯片结构与制造技术

ISBN/价格:978-7-121-42500-4:CNY158.00
作品语种:chi
出版国别:CN 110000
题名责任者项:CMOS芯片结构与制造技术/.潘桂忠编著
出版发行项:北京:,电子工业出版社:,2021.12
载体形态项:15,358页:;+图:;+26cm
丛编项:集成电路基础与实践技术丛书
一般附注:工信学术出版基金
相关题名附注:封面英文题名:Complementary metal oxide semiconductor
提要文摘:本书从CMOS芯片结构技术出发,系统地介绍了微米﹑亚微米﹑深亚微米及纳米CMOS制造技术,内容包括单阱CMOS﹑双阱CMOS﹑LV/HV兼容CMOS﹑BiCMOS﹑LV/HV兼容BiCMOS,以及LV/HV兼容BCD制造技术。全书各章都采用由CMOS芯片主要元器件﹑制造技术及主要参数所组成的综合表,从芯片结构出发,利用计算机和它所提供的软件,描绘出芯片制造的各工序剖面结构,从而得到制程剖面结构。书中给出了100种典型CMOS芯片结构,介绍了各种典型制造技术,并描绘出50种制程剖面结构。深入地了解芯片制程剖面结构,对于电路设计﹑芯片制造﹑良率提升﹑产品质量提高及电路失效分析等都是十分重要的。
并列题名:Complementary metal oxide semiconductor eng
题名主题:CMOS电路 芯片 生产工艺
中图分类:TN430.5
个人名称等同:潘桂忠 编著
记录来源:CN 人天书店 20220307
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