ISBN/价格: | 978-7-5612-7676-1:CNY69.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 610000 |
题名责任者项: | 微机电系统/.苑伟政,乔大勇,虞益挺编著 |
版本项: | 2版 |
出版发行项: | 西安:,西北工业大学出版社:,2021.06 |
载体形态项: | 341页:;+图:;+26cm |
一般附注: | “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 微机电系统工程系列教材 工业和信息化部“十四五”规划教材 |
提要文摘: | 本书是在第一版的基础上修订而成,结合微机电系统领域的研究成果编著而成的。全书共分为六章,分别介绍了MEMS发展历程,MEMS理论基础,MEMS基本工艺技术,MEMS设计技术,典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面,《普通高等教育“十一五”规划教材:微机电系统》结合大量工艺实例,易于学生理解,有助于提高其动手能力;对各种典型微机电器件的介绍,大部分来源于实验室的课题研究实例,内容充实新颖。 |
题名主题: | 微机电系统 高等教育 教材 |
中图分类: | TM38 |
个人名称等同: | 苑伟政 编著 |
个人名称等同: | 乔大勇 编著 |
个人名称等同: | 虞益挺 编著 |
记录来源: | CN 人天书店 20220613 |