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微机电系统
| ISBN/价格： | 978-7-5612-7676-1:CNY69.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 610000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统/.苑伟政，乔大勇，虞益挺编著 |
| 版本项： | 2版 |
| 出版发行项： | 西安:,西北工业大学出版社:,2021.06 |
| 载体形态项： | 341页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 微机电系统工程系列教材 工业和信息化部“十四五”规划教材 |
| 提要文摘： | 本书是在第一版的基础上修订而成，结合微机电系统领域的研究成果编著而成的。全书共分为六章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，《普通高等教育“十一五”规划教材：微机电系统》结合大量工艺实例，易于学生理解，有助于提高其动手能力；对各种典型微机电器件的介绍，大部分来源于实验室的课题研究实例，内容充实新颖。 |
| 题名主题： | 微机电系统 高等教育 教材 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 苑伟政 编著 |
| 个人名称等同： | 乔大勇 编著 |
| 个人名称等同： | 虞益挺 编著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20220613 |