| ISBN/价格： | 978-7-03-072489-2:CNY88.00 |
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| 作品语种： | chi eng |
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| 出版国别： | CN 110000 |
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| 题名责任者项： | 高温SiC MEMS传感器的热电特性/.(澳)丁东安(Toam Dinh)，(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen)，(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著/.王兴华[等]译 |
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| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2022.06 |
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| 载体形态项： | 10,133页:;+图:;+24cm |
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| 提要文摘： | 本书主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。 |
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| 并列题名： | Thermoelectrical effect in SiC for high-temperature MEMS sensors eng |
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| 题名主题： | 碳化硅热敏电阻器 研究 |
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| 题名主题： | 微机电系统 传感器 热电效应 研究 |
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| 中图分类： | TM54 |
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| 中图分类： | TH-39 |
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| 个人名称等同： | 丁东安 (澳) (Dinh, Toam) 著 |
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| 个人名称等同： | 阮南中 (澳) (Nguyen, Nam-Trung) 著 |
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| 个人名称等同： | 陶宗越 (澳) (Dao, Dzung Viet) 著 |
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| 个人名称次要： | 王兴华 译 |
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| 记录来源： | CN 人天书店 20220711 |
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