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《新型微纳传感器技术》

新型微纳传感器技术

ISBN/价格:978-7-122-42346-7:CNY128.00
作品语种:chi
出版国别:CN 110000
题名责任者项:新型微纳传感器技术/.赵玉龙,蒋庄德著
出版发行项:北京:,化学工业出版社:,2022.12
载体形态项:244页:;+图,照片:;+26cm
丛编项:西安交通大学研究生“十四五”规划精品系列教材
一般附注:国家科学技术学术著作出版基金资助出版
提要文摘:本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构,阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用,主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。
并列题名:Micro and nano sensor technology eng
题名主题:微电机 传感器 研究生 教材
中图分类:TP212
个人名称等同:赵玉龙 著
个人名称等同:蒋庄德 著
记录来源:CN 浙江省新华书店集团公司 20230224
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