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钼靶材及其薄膜制备技术
| ISBN/价格： | 978-7-03-070385-9:CNY118.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 钼靶材及其薄膜制备技术/.谢敬佩等著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2022.07 |
| 载体形态项： | 10,189页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手，研究了原材料及还原工艺对粉性能的影响和烧结的热变形行为，分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响，确定了钼靶材的制备工艺，实现了钼靶材的微观组织调控。 |
| 并列题名： | Preparation technology of molybdenum target and its thin film eng |
| 题名主题： | 钼 金属薄膜 制备 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 谢敬佩 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20221020 |