ISBN/价格: | 978-7-03-070385-9:CNY118.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 钼靶材及其薄膜制备技术/.谢敬佩等著 |
出版发行项: | 北京:,科学出版社:,2022.07 |
载体形态项: | 10,189页:;+图:;+24cm |
提要文摘: | 本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手,研究了原材料及还原工艺对粉性能的影响和烧结的热变形行为,分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响,确定了钼靶材的制备工艺,实现了钼靶材的微观组织调控。 |
并列题名: | Preparation technology of molybdenum target and its thin film eng |
题名主题: | 钼 金属薄膜 制备 |
中图分类: | TB383 |
个人名称等同: | 谢敬佩 著 |
记录来源: | CN 浙江省新华书店集团公司 20221020 |