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激光热敏光刻:原理与方法
| ISBN/价格： | 978-7-302-60745-8:CNY129.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 激光热敏光刻/.魏劲松著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2022.08 |
| 载体形态项： | 11,219页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 变革性光科学与技术丛书 |
| 一般附注： | “十四五”时期国家重点出版物出版专项规划·重大出版工程规划项目 国家出版基金项目 |
| 提要文摘： | 本书首先对目前各种光刻技术的原理、方法和特点进行描述与分析比较；然后阐述激光热敏光刻的物理过程、仪器系统、光刻策略、用于超越光斑尺寸的纳米光刻、跨尺度光刻、宽波段光刻、分辨率极限光刻、灰度图形光刻，以及图形转移的方法和相应的实验结果及应用事例。 |
| 并列题名： | Laser thermo-sensitive lithography eng |
| 题名主题： | 激光技术 应用 光刻设备 研究 |
| 中图分类： | TN305.7 |
| 个人名称等同： | 魏劲松 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20221008 |