书目信息 机读格式(MARC)
氮化铝单晶材料生长与应用
| ISBN/价格： | 978-7-5606-6283-1:CNY108.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 610000 |
| 题名责任者项： | 氮化铝单晶材料生长与应用/.徐科，黄俊编著 |
| 出版发行项： | 西安:,西安电子科技大学出版社:,2022.09 |
| 载体形态项： | 175页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 宽禁带半导体前沿丛书 |
| 一般附注： | 国家出版基金项目 |
| 提要文摘： | 本书共七章，包括氮化铝单晶材料的基本性质、氮化铝单晶材料生长的物理基础、氮化铝单晶材料的缺陷、物理气相传输法制备氮化铝单晶、氢化物气相外延法制备氮化铝单晶、金属有机物化学气相沉积法制备氮化铝单晶薄膜、氮化铝器件应用。 |
| 并列题名： | Aluminum nitride single crystal growth and applications eng |
| 题名主题： | 氮化铝 单晶 半导体材料 研究 |
| 中图分类： | TN304.2 |
| 个人名称等同： | 徐科 编著 |
| 个人名称等同： | 黄俊 编著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20230215 |