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MEMS/NEMS谐振器技术
| ISBN/价格： | 978-7-03-075719-7:CNY298.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS/NEMS谐振器技术/.张文明，胡开明著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2023.08 |
| 载体形态项： | 475页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书共9章，内容包括：MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势；谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术；谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术；谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为；微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法；谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术；通道式MEMS/NEMS谐振器检测原理、动力学设计与分析技术；微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术；谐振器中存在的典型失效模式与失效机理，以及多种可靠性评估方法和测试技术。 |
| 题名主题： | 微机电系统 谐振器 |
| 中图分类： | TN62 |
| 个人名称等同： | 张文明 著 |
| 个人名称等同： | 胡开明 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20230926 |