ISBN/价格: | 978-7-03-075719-7:CNY298.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | MEMS/NEMS谐振器技术/.张文明,胡开明著 |
出版发行项: | 北京:,科学出版社:,2023.08 |
载体形态项: | 475页:;+图:;+24cm |
提要文摘: | 本书共9章,内容包括:MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势;谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术;谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术;谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为;微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法;谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术;通道式MEMS/NEMS谐振器检测原理、动力学设计与分析技术;微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术;谐振器中存在的典型失效模式与失效机理,以及多种可靠性评估方法和测试技术。 |
题名主题: | 微机电系统 谐振器 |
中图分类: | TN62 |
个人名称等同: | 张文明 著 |
个人名称等同: | 胡开明 著 |
记录来源: | CN 浙江省新华书店集团公司 20230926 |