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微机电系统
| ISBN/价格： | 7-5025-4320-1:CNY15.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统/.梅涛，伍小平主编 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2003 |
| 载体形态项： | 197页:;+20cm |
| 丛编项： | 高新技术科普丛书 |
| 一般附注： | 国家科普知识重点图书 |
| 提要文摘： | 本书论述微机械加工工艺、MEMS力学问题、微型传感器、微执行器、真空微电子器件、典型微系统与应用等。 |
| 题名主题： | 微电机 普及读物 |
| 题名主题： | 微电机 |
| 中图分类： | TM38-49 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 个人名称等同： | 梅涛 主编 |
| 个人名称等同： | 伍小平 主编 |
| 记录来源： | CN NLC 20030312 |
| 电子图书： | http://211.83.192.212/bookhtm/rcount.asp?ssnum=10999199 |