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高k栅介质材料与器件集成
| ISBN/价格： | 978-7-302-63914-5:CNY79.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 高k栅介质材料与器件集成/.何刚主编 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2023.08 |
| 载体形态项： | 272页:;+图，照片:;+26cm |
| 丛编项： | 面向新工科的材料类基础教材丛书 |
| 一般附注： | 清华大学出版社“十四五”普通高等教育本科规划教材 |
| 提要文摘： | 本书共10章，包括了集成电路的发展趋势及后摩尔时代的器件挑战，栅介质材料的基本概念及物理知识储备，栅介质材料的基本制备技术及表征方法；着重介绍了栅介质材料在不同器件中的集成应用，如高k与金属栅、场效应晶体管器件、薄膜晶体管器件、存储器件及神经形态器件等。本书包含栅介质材料的基本制备技术，同时突出了栅介质材料在器件应用中的先进性和前沿性，反映了后摩尔时代器件集成的最新研究进展。 |
| 题名主题： | 栅介质 介质材料 高等教育 教材 |
| 中图分类： | TN303 |
| 个人名称等同： | 何刚 主编 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20230921 |