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《高k栅介质材料与器件集成》

高k栅介质材料与器件集成

ISBN/价格:978-7-302-63914-5:CNY79.00
作品语种:chi
出版国别:CN 110000
题名责任者项:高k栅介质材料与器件集成/.何刚主编
出版发行项:北京:,清华大学出版社:,2023.08
载体形态项:272页:;+图,照片:;+26cm
丛编项:面向新工科的材料类基础教材丛书
一般附注:清华大学出版社“十四五”普通高等教育本科规划教材
提要文摘:本书共10章,包括了集成电路的发展趋势及后摩尔时代的器件挑战,栅介质材料的基本概念及物理知识储备,栅介质材料的基本制备技术及表征方法;着重介绍了栅介质材料在不同器件中的集成应用,如高k与金属栅、场效应晶体管器件、薄膜晶体管器件、存储器件及神经形态器件等。本书包含栅介质材料的基本制备技术,同时突出了栅介质材料在器件应用中的先进性和前沿性,反映了后摩尔时代器件集成的最新研究进展。
题名主题:栅介质 介质材料 高等教育 教材
中图分类:TN303
个人名称等同:何刚 主编
记录来源:CN 浙江省新华书店集团公司 20230921
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