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新型微机电系统与器件
| ISBN/价格： | 978-7-5606-6530-6:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 610000 |
| 题名责任者项： | 新型微机电系统与器件/.马宗敏主编 |
| 出版发行项： | 西安:,西安电子科技大学出版社:,2022.10 |
| 载体形态项： | 312页:;+图，照片:;+26cm |
| 一般附注： | 高等学校微电子类专业系列教材 |
| 相关题名附注： | 封面英文题名：New micro-electro-mechanical systems and devices |
| 提要文摘： | 本书共七章，内容包括：近年来微机电系统的发展、MEMS惯性器件及系统、回音壁模式微腔器件及系统、典型水声传感器件及系统、典型高温压力传感器件及系统、量子传感器件及系统、柔性传感器件及系统。 |
| 并列题名： | New micro-electro-mechanical systems and devices eng |
| 题名主题： | 微机电系统 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TH |
| 个人名称等同： | 马宗敏 主编 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20230215 |