ISBN/价格: | 978-7-5606-6530-6:CNY49.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 610000 |
题名责任者项: | 新型微机电系统与器件/.马宗敏主编 |
出版发行项: | 西安:,西安电子科技大学出版社:,2022.10 |
载体形态项: | 312页:;+图,照片:;+26cm |
一般附注: | 高等学校微电子类专业系列教材 |
相关题名附注: | 封面英文题名:New micro-electro-mechanical systems and devices |
提要文摘: | 本书共七章,内容包括:近年来微机电系统的发展、MEMS惯性器件及系统、回音壁模式微腔器件及系统、典型水声传感器件及系统、典型高温压力传感器件及系统、量子传感器件及系统、柔性传感器件及系统。 |
并列题名: | New micro-electro-mechanical systems and devices eng |
题名主题: | 微机电系统 高等学校 教材 |
中图分类: | TH |
个人名称等同: | 马宗敏 主编 |
记录来源: | CN 浙江省新华书店集团公司 20230215 |