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MEMS压力传感器理论与技术
| ISBN/价格： | 978-7-04-060468-9:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | MEMS压力传感器理论与技术/.蒋庄德等著 |
| 出版发行项： | 北京:,高等教育出版社:,2023.08 |
| 载体形态项： | 372页:;+26cm |
| 丛编项： | 先进制造与智能制造前沿技术丛书 |
| 提要文摘： | 微机电系统(MEMS)具有尺寸微小、片内集成、批量制造、材料宽泛的技术特征，因而成为先进传感器技术的主流发展方向。微型化、智能化和网络化的压力传感器在高端装备、智能制造、机器人、物联网等新兴领域具有很大的应用潜力。本书将作者团队多年来在该领域的科研积累融为一炉，从相关基础理论出发，论述了MEMS压力传感器的主流工艺、器件静动态测试、芯片电路等关键技术，并详细讨论了多种原创、特种、高端的MEMS压力传感器件，对我国MEMS压力传感器的科研和产业发展将产生巨大的推动作用。 |
| 题名主题： | 压力传感器 |
| 中图分类： | TP212 |
| 记录来源： | CN 20231210 |