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聚焦离子束:应用与实践
| ISBN/价格： | 978-7-305-27409-1:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 320000 |
| 题名责任者项： | 聚焦离子束/.邓昱[等]著 |
| 出版发行项： | 南京:,南京大学出版社:,2023.12 |
| 载体形态项： | 10,193页:;+图，照片:;+23cm |
| 提要文摘： | 本书共分七章，从聚焦离子束的结构原理出发，结合应用与实践，对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述，并配有实际案例进行进一步详解。 |
| 题名主题： | 离子束聚变装置 |
| 中图分类： | TL632 |
| 个人名称等同： | 邓昱 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20231225 |