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半导体制造过程的批间控制和性能监控
| ISBN/价格： | 978-7-03-070817-5:CNY128.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体制造过程的批间控制和性能监控/.郑英，王妍，凌丹著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2023.11 |
| 载体形态项： | 243页:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书共十一章，基于当前半导体行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和过程监控算法及其性能。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 郑英 著 |
| 个人名称等同： | 王妍 著 |
| 个人名称等同： | 凌丹 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20231208 |