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微电子工艺与装备技术
| ISBN/价格： | 978-7-03-075192-8:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子工艺与装备技术/.夏洋，解婧，陈宝钦编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2023.03 |
| 载体形态项： | 10,227页:;+图，照片:;+26cm |
| 一般附注： | 中国科学院大学研究生教材系列 |
| 提要文摘： | 本书介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括：集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。 |
| 题名主题： | 微电子技术 生产工艺 研究生 教材 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 夏洋 编著 |
| 个人名称等同： | 解婧 编著 |
| 个人名称等同： | 陈宝钦 编著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20230404 |