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《半导体材料及器件辐射缺陷与表征方法》

半导体材料及器件辐射缺陷与表征方法

ISBN/价格:978-7-5767-0544-7:CNY128.00
作品语种:chi
出版国别:CN 230000
题名责任者项:半导体材料及器件辐射缺陷与表征方法/.李兴冀等编著
出版发行项:哈尔滨:,哈尔滨工业大学出版社:,2023.07
载体形态项:401页:;+图:;+24cm
一般附注:材料与器件辐射效应及加固技术研究著作 国家出版基金项目 国家出版基金资助项目
提要文摘:本书共分为4章:第1章为半导体物理基础,重点介绍缺陷相关理论;第2章介绍半导体材料器件与原始缺陷;第3章在辐射物理基础上,介绍了辐射诱导缺陷形成与演化、缺陷性质等模拟仿真方法及应用;第4章介绍半导体材料与器件缺陷表征与分析的常用方法。
并列题名:Characterization methods for radiation induced defects in semiconductor materials and devices eng
题名主题:半导体材料 研究
题名主题:半导体器件 研究
中图分类:TN304
中图分类:TN303
个人名称等同:李兴冀 编著
记录来源:CN 浙江省新华书店集团公司 20231212
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