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《MEMS法珀腔光学声传感器》

MEMS法珀腔光学声传感器

ISBN/价格:978-7-121-46695-3:CNY98.00
作品语种:chi
出版国别:CN 110000
题名责任者项:MEMS法珀腔光学声传感器/.郑永秋, 陈佳敏, 武丽云著
出版发行项:北京:,电子工业出版社:,2023.11
载体形态项:211页:;+图:;+23cm
丛编项:工业信息化技术丛书
提要文摘:本书论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等,还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。
题名主题:光纤传感器
中图分类:TP212.4
个人名称等同:郑永秋 著
个人名称等同:陈佳敏 (女) 著
个人名称等同:武丽云 (女) 著
记录来源:CN 浙江省新华书店集团公司 20231219
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