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《真空镀膜技术与应用》

真空镀膜技术与应用

ISBN/价格:978-7-5629-6979-2:CNY98.00
作品语种:chi
出版国别:CN 420000
题名责任者项:真空镀膜技术与应用/.主编田灿鑫
出版发行项:武汉:,武汉理工大学出版社:,2024.05
载体形态项:234页:;+图:;+24cm
相关题名附注:英文并列题名取自封面
提要文摘:本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上,着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等,紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容,最后阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。
并列题名:Vacuum coating technology and application eng
题名主题:真空技术 镀膜
中图分类:TN305.8
个人名称等同:田灿鑫 主编
记录来源:CN 浙江省新华书店集团公司 20240527
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