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微纳制造与微机电系统
| ISBN/价格： | 978-7-03-079358-4:CNY82.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳制造与微机电系统/.李经民，刘冲，王立鼎编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2024.08 |
| 载体形态项： | 281页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 科学出版社“十四五”普通高等教育研究生规划教材 |
| 提要文摘： | 本书共八章，内容包括：微机电系统概述、体硅微加工技术、表面微加工技术、硅基微加工工艺实例、微传感器、微执行器、微机电系统典型应用等。 |
| 题名主题： | 微机电系统 研究生 教材 |
| 中图分类： | TH |
| 个人名称等同： | 李经民 编著 |
| 个人名称等同： | 刘冲 编著 |
| 个人名称等同： | 王立鼎 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20250325 |