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传感器与MEMS设计制造技术
| ISBN/价格： | 978-7-118-13400-1:CNY268.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 传感器与MEMS设计制造技术/.朱真等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2024.07 |
| 载体形态项： | 662页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 传感器与MEMS技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书系统介绍了传感器与MEMS微系统的整体设计、制造基础,涵盖硅基及非硅基材料的加工制造工艺。详细阐述了从MEMS设计到封装集成的全生命周期技术,包括光刻、介质层加工、金属层加工等关键技术,并深入分析了每一步骤的技术原理及其优缺点,为理解这些微纳加工技术提供了全面的指导和参考。 |
| 并列题名： | Design and manufacturing technology for sensors and mems eng |
| 题名主题： | 微机电系统 应用 传感器 |
| 中图分类： | TP212 |
| 个人名称等同： | 朱真 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20251009 |